氣體輸送架GR
產品特性：可實現電子級氣體的持續不間斷安全供應；主要采用PLC控制，觸控屏為人機界面或數顯按鈕式操作界面。
主要特點(dian)：自動吹掃(sao)、自動切換以及緊急(ji)情況下的自動安全切斷。
適用(yong)場合：主(zhu)要適用(yong)于IC 、TFT 、Solar 、LED等工廠(chang)惰性氣(qi)體(ti)的供(gong)氣(qi)需(xu)求。
適(shi)用氣體：惰(duo)性，如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等。
氣(qi)源供應方式：Cylinder
