一、前言
隨著(zhu)我國半導體(ti)(ti)、制芯業的(de)(de)發展，高(gao)(gao)純氣(qi)體(ti)(ti)管道的(de)(de)應用也越(yue)來越(yue)廣(guang)泛，象半導體(ti)(ti)、電子、醫藥、食(shi)品等行(xing)業都不(bu)同程(cheng)度的(de)(de)使用了高(gao)(gao)純氣(qi)體(ti)(ti)管道，因此高(gao)(gao)純氣(qi)體(ti)(ti)管道的(de)(de)施工對于我們來說也越(yue)來越(yue)重(zhong)要(yao)。
二、適用范圍
本工藝主要適(shi)用于電子、半(ban)導體(ti)廠房(fang)(fang)的氣(qi)體(ti)管(guan)(guan)道(dao)安(an)裝、測(ce)試，焊接薄壁不銹鋼氣(qi)體(ti)管(guan)(guan)道(dao)，同時(shi)也適(shi)用于醫藥、食品等廠房(fang)(fang)的潔凈管(guan)(guan)道(dao)施工。
三、工藝原理
根據工程特點，工程的(de)施工前(qian)后分為(wei)三(san)個(ge)步(bu)驟，每一(yi)步(bu)都要(yao)經過嚴(yan)格(ge)的(de)質量(liang)和潔凈(jing)度檢查，第(di)一(yi)步(bu)是(shi)(shi)管道的(de)預(yu)制，為(wei)保(bao)證潔凈(jing)要(yao)求，管道的(de)預(yu)制一(yi)般是(shi)(shi)在1000級的(de)預(yu)制間內進(jin)行(xing)；第(di)二步(bu)是(shi)(shi)現場安裝；第(di)三(san)步(bu)是(shi)(shi)系統(tong)的(de)測(ce)試(shi)(shi)，系統(tong)測(ce)試(shi)(shi)主(zhu)要(yao)是(shi)(shi)對管道內的(de)塵埃(ai)粒子、露點、含氧量(liang)、碳氫化(hua)合物的(de)含量(liang)進(jin)行(xing)測(ce)試(shi)(shi)。
四、主要施工要點
（一）施工前的準備
1、組織(zhi)勞(lao)動力(li)，準備(bei)施工中使用的機具、設備(bei)。
2、搭(da)建預(yu)制間，潔凈(jing)度1000級(ji)。
3、施(shi)工圖(tu)分(fen)析(xi)，根據工程特點及實際情況編制施(shi)工方案，做(zuo)好(hao)技(ji)術交(jiao)底。
（二）管道預制
1、由于(yu)高純氣體管道要求(qiu)的潔凈(jing)度(du)較高，為(wei)了減(jian)少安裝現場(chang)的焊接工(gong)作量(liang)，確保潔凈(jing)度(du)，所以(yi)管道的施(shi)工(gong)先(xian)在1000級的預制(zhi)間(jian)中預制(zhi)，施(shi)工(gong)人員應穿潔凈(jing)服，使用的工(gong)機具(ju)應保證(zheng)潔凈(jing)，另外施(shi)工(gong)人員應有較強的潔凈(jing)意識(shi)，施(shi)工(gong)過程盡量(liang)減(jian)少對管子的污染。
2、管(guan)(guan)道的(de)下(xia)料(liao)(liao)管(guan)(guan)道下(xia)料(liao)(liao)使用(yong)的(de)是(shi)專用(yong)的(de)切管(guan)(guan)工具，切出的(de)端面絕對(dui)(dui)和管(guan)(guan)軸心線垂直(zhi)，切管(guan)(guan)時應采取措施避(bi)免(mian)外界的(de)灰塵、空氣對(dui)(dui)管(guan)(guan)子內部的(de)污染(ran)，下(xia)好(hao)的(de)料(liao)(liao)應分組編號(hao)以便于(yu)組對(dui)(dui)焊接(jie)。
3、管(guan)道(dao)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)，管(guan)道(dao)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)前應先編制(zhi)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)程序輸入到自動(dong)焊(han)(han)(han)(han)機(ji)，試焊(han)(han)(han)(han)樣(yang)品(pin)，樣(yang)品(pin)合格后(hou)(hou)，方能(neng)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)，進(jin)行完一(yi)天的焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)后(hou)(hou)，再焊(han)(han)(han)(han)樣(yang)品(pin)，如果(guo)樣(yang)品(pin)合格，由(you)于焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)參數一(yi)直儲存在(zai)焊(han)(han)(han)(han)機(ji)里，自動(dong)焊(han)(han)(han)(han)機(ji)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)時又非常(chang)穩定，所以焊(han)(han)(han)(han)縫質(zhi)量也是合格的。焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)質(zhi)量由(you)微機(ji)控制(zhi)，減少了(le)由(you)于人為(wei)因素對焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)質(zhi)量的影響，既提高了(le)工作效率，又能(neng)得到高品(pin)質(zhi)的焊(han)(han)(han)(han)縫。
4、焊接工序
（三）現場安裝
1、高(gao)純(chun)氣體管道的現場安裝應整潔干凈，安裝人員必須戴(dai)潔凈手套。
2、支架設(she)置距離應符合圖紙設(she)計要求，每一固定點(dian)套(tao)(tao)上(shang)EP管專用的橡(xiang)膠套(tao)(tao)。
3、預制好的管(guan)子運到現場，不能磕碰(peng)踩(cai)踏，不能直接放到地面上(shang)，擔上(shang)支架后，立即上(shang)管(guan)卡。
4、現場的管道焊接(jie)和(he)預制階段(duan)管道焊接(jie)程序(xu)相同。
5、焊接完畢經有關人員對焊口樣(yang)品及管道上的(de)焊口檢驗(yan)合格后，貼焊口標簽，填寫焊接記(ji)錄(lu)。
（四）系統測試
1、系統檢測是高純氣體施工的最后一環，它是在(zai)管道壓力試驗、吹掃結束后進(jin)行。
2、系統測試使用的氣(qi)(qi)體首先是合格氣(qi)(qi)體，氣(qi)(qi)體的潔凈(jing)度、含氧量、露點及碳(tan)氫化合物(wu)應(ying)符合要求(qiu)。
3、指(zhi)標的(de)檢測是通過在管道里(li)充入合(he)格(ge)氣體(ti)，在出口處(chu)用(yong)儀器測量(liang)，管道里(li)吹出的(de)氣體(ti)合(he)格(ge)了(le)，說明這(zhe)條管路指(zhi)標合(he)格(ge)了(le)。
五、材料
高(gao)純(chun)氣體(ti)管道(dao)按其流(liu)通介質(zhi)的工(gong)藝(yi)(yi)要(yao)求一般采用(yong)薄壁不銹鋼(gang)管，通常(chang)采用(yong)316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要(yao)有鉻、鎳(nie)、鉬三(san)種(zhong)合金元素，鉻的存在(zai)提(ti)高(gao)了不銹鋼(gang)在(zai)氧(yang)化(hua)性(xing)(xing)介質(zhi)中的耐腐蝕性(xing)(xing)，形(xing)成一層(ceng)富鉻氧(yang)化(hua)膜；而(er)鉬的存在(zai)則提(ti)高(gao)了不銹鋼(gang)在(zai)非氧(yang)化(hua)性(xing)(xing)介質(zhi)中的耐腐蝕性(xing)(xing)；鎳(nie)是奧氏(shi)體(ti)的形(xing)成元素，它(ta)們的存在(zai)既提(ti)高(gao)了鋼(gang)的耐腐蝕性(xing)(xing)，又提(ti)高(gao)了鋼(gang)的工(gong)藝(yi)(yi)性(xing)(xing)能(neng)。
六、機具設備
自動焊(han)機 ARC M207A 2臺
切管機 RA41 臺
端面加工機 2臺
電源穩壓器 ; 2臺(tai)
手工鎢極氬弧焊機 3臺(tai)
氬(ya)氣過濾器(qi) ; 3個
不銹鋼彎管器 1/4″、3/8″、1/2″、3/4″各(ge)1個
粒子(zi)測試(shi)儀 1臺
露點測試儀 1臺(tai)
碳氫化合物測(ce)試儀 1臺
氬(ya)氣(qi)純度檢測儀(yi) 1臺
七、勞動力組織
項目經理 1名
管道(dao)工程師 1名
焊接工程師 1名
管道(dao)施工組長 ; 2名
; 焊 工 2名(ming)
管道施(shi)工組員(yuan) 6名
八、施工質量要求
1、工程施工執行的質量標準
⑴ 潔凈室(shi)施工及驗收規范 JGJ71-90
⑵ 潔凈廠房設計規范(fan) GB50073-2001
⑶ 工業金屬管道(dao)工程(cheng)施工及驗收規范 ; GB50235-97
⑷ 現場設備、工(gong)業管道焊接工(gong)程施工(gong)及(ji)驗收規范GB50236-98
2、為保證工程質量，應采取下列措施
⑴ 工程(cheng)技(ji)術(shu)人(ren)員負(fu)責(ze)施(shi)(shi)工計劃、工程(cheng)技(ji)術(shu)和潔凈(jing)措施(shi)(shi)的制訂，繪制預制加(jia)工圖(tu)，并負(fu)責(ze)組織、指導全面實施(shi)(shi)，對(dui)施(shi)(shi)工質(zhi)量負(fu)責(ze)。
⑵ 管(guan)工(gong)必須按規定的(de)潔凈、技術措施按圖(tu)預(yu)制和(he)安裝，負(fu)(fu)責(ze)專用(yong)設備的(de)正確(que)使用(yong)和(he)保(bao)養，負(fu)(fu)責(ze)做好各項(xiang)測試準備工(gong)作和(he)測試工(gong)作，負(fu)(fu)責(ze)管(guan)道的(de)預(yu)制、安裝達到質量標準。
⑶質(zhi)量檢驗人員，應對管道(dao)預制、安裝(zhuang)作業進行全面質(zhi)量檢查(cha)(cha)(cha)和(he)控制，督促檢查(cha)(cha)(cha)各(ge)項潔(jie)凈措施的貫徹執行；檢查(cha)(cha)(cha)確(que)認(ren)預制安裝(zhuang)質(zhi)量、檢查(cha)(cha)(cha)確(que)認(ren)焊(han)接(jie)(jie)前(qian)后的焊(han)口(kou)樣品；檢查(cha)(cha)(cha)確(que)認(ren)焊(han)接(jie)(jie)記錄和(he)各(ge)種檢測及其記錄的正確(que)性；并負責匯(hui)總和(he)整理交工資料。
⑷ 發生質量(liang)事故，不(bu)得隱瞞，及時(shi)上報，查找原因(yin)并及時(shi)解決。
九、安全措施
1、嚴格(ge)執(zhi)行《建筑安裝工(gong)人安全技術操作規程(cheng)》及中電四公司的安全規章制度(du)，組織(zhi)工(gong)人學習，經考核合格(ge)后方能(neng)上(shang)崗。
2、高空(kong)作(zuo)業，腳(jiao)手架在超出(chu)地面兩米(mi)（含兩米(mi)）以上時，人員須(xu)系安全帶，工(gong)具須(xu)放入(ru)工(gong)具袋(dai)內(nei)，腳(jiao)手架必須(xu)圍籬。
3、所有(you)帶(dai)電(dian)設(she)備(bei)、帶(dai)電(dian)工(gong)具必須有(you)漏電(dian)保(bao)護措施，臨時(shi)電(dian)纜、電(dian)線的接線須由專職電(dian)工(gong)實施。
4、動(dong)火作(zuo)業(ye)應(ying)(ying)辦理動(dong)火作(zuo)業(ye)許可證，動(dong)火作(zuo)業(ye)人員應(ying)(ying)持證上崗，并備好防火用(yong)品。
5、安(an)全人員(yuan)隨時(shi)檢查班組施工人員(yuan)的安(an)全情況，發現安(an)全隱患及時(shi)排除。
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來源：現代實驗室裝(zhuang)備(bei)網
